AMHS（Automatic Material Handling System）自動物料搬運系統(tǒng)，又名天車系統(tǒng)，是半導體生產(chǎn)線上進行物料搬運的軟硬件一體的設備和系統(tǒng)。AMHS產(chǎn)品組件包含傳送硬件設備（OHT、Lifter等）、存儲硬件設備（Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHCV、OHB）、凈化硬件設備（TLP、OPS、FPS等）和一體化軟件系統(tǒng)。
搬運載具類型: FOUP，F(xiàn)OSB
VHL尺寸: L860xW460xH960mm
抓取質(zhì)量: 15Kg
直線速度: 3.5m/s
曲線速度: 0.9m/s
加速/減速:1.5m/s2/2m/s2
加載時間: EQ(1.8m): 16sec
吊裝長度: 3.5m ( Foup )
軌道分歧/匯合方式: VHL自動切換
轉(zhuǎn)向器工作時間: 0.5s
曲線半徑:500mm
潔凈度: CLASS100(F.S 209D)
振動<0.5G
供電方式:非接觸供電系統(tǒng) ( CPS )
天車管理系統(tǒng)由MCS/OHTC系統(tǒng)等組成，實現(xiàn)生產(chǎn)物料快速、準確對接到目標生產(chǎn)設備和制程工藝設備，組成并實現(xiàn)一個智能化、高效率的半導體工廠，同時也確保了生產(chǎn)系統(tǒng)的信息安全。
地址：無錫惠山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)風電園創(chuàng)惠路5號八號樓第三層
電話：0510-85866818 轉(zhuǎn)0
郵箱：xinyun@luckysemi.net
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