產(chǎn)品組合
Equipment Control System我們的設(shè)備產(chǎn)線包括包括Sorter、EFEM以及相關(guān)核心部件產(chǎn)品（SMIFPOD、Load port、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、Aligner等），Sorter & EFEM可根據(jù)客戶需求配置EAP及E84模塊，實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)的完全自動(dòng)化。
我們的設(shè)備產(chǎn)線包括包括Sorter、EFEM以及相關(guān)核心部件產(chǎn)品（SMIFPOD、Load port、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、Aligner等），Sorter & EFEM可根據(jù)客戶需求配置EAP及E84模塊，實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)的完全自動(dòng)化。
軟件功能豐富，可實(shí)現(xiàn)客戶的需求多樣化
SECS/GEM 傳輸指令，兼容多種通訊協(xié)議
人性化的操作維護(hù)界面，清晰明了
系統(tǒng)設(shè)計(jì)模塊塊，實(shí)現(xiàn)組件化，穩(wěn)定性高
豐富的用戶權(quán)限管理、全過程日志記錄
全面的安全防呆機(jī)制，保障機(jī)臺(tái)安全穩(wěn)定運(yùn)行
EFEM參數(shù)：
1/2/3/4個(gè)LoadPort or SmifPod
適用150mm-300mm晶圓
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
SCR雙臂機(jī)器人
超薄真空手臂or伯努利手臂or邊緣夾持手臂
真空or邊緣夾持Aligner
OCR（IOSS），高清讀取WaferID
配置E84模塊，支持天車取放料
RFID讀取
EFU & Ionizer
EAP對(duì)接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)上傳
參數(shù)：
2/3/4個(gè)LoadPort設(shè)計(jì)
兼容200mm-300mm晶圓
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
自動(dòng)識(shí)別FOUP or Cassette
GTCR機(jī)器人
WPH可達(dá)到230片
陶瓷超薄真空或伯努利抓手（可定制）
真空Aligner
OCR（IOSS），高清讀取WaferID
配置E84模塊，支持天車取放料
RFID讀取
EFU & Ionizer
晶圓任意拆分
支持SECS/GEM廠務(wù)通訊
地址：無錫惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)風(fēng)電園創(chuàng)惠路5號(hào)八號(hào)樓第三層
電話：0510-85866818 轉(zhuǎn)0
郵箱：xinyun@luckysemi.net
關(guān)注微信公眾號(hào)
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